Popis produktov
Srdce výroby v čistých priestoroch,Polovodičové vákuové čerpadlású precízne{0}}skonštruované tak, aby spĺňali mimoriadne prísne požiadavky na výrobu mikroelektroniky. Tieto čerpadlá sú navrhnuté tak, aby poskytovali dokonale čisté, stabilné a vákuové prostredie bez-vibrácií, čo je absolútne nevyhnutné pre procesy, kde aj mikroskopická kontaminácia môže viesť ku katastrofálnej poruche produktu.produktuuniverzálne používajú konštrukcie-bez oleja a korózii-, často využívajúce špecializované materiály, ktoré odolajú agresívnym procesným plynom. Dosahujú potrebné vysoké úrovne vákua, zvyčajne až do 0,001 Pascalu, s nastaviteľnými prietokmi a sú navrhnuté tak, aby vykazovali extrémne nízke vibračné profily, aby sa zabránilo poškodeniu jemných nanoštruktúr.
Ich filozofia modulárneho dizajnu umožňuje priamu integráciu do komplexných sád nástrojov a uľahčuje údržbu, čo je rozhodujúce pre minimalizáciu nákladných prestojov nástrojov. Primárna aplikáciaPolovodičové vákuové čerpadláje, ako už názov napovedá, v polovodičovom priemysle, kde sa používajú prakticky v každom kroku výroby čipov, od leptania a nanášania až po implantáciu iónov a litografiu. Sú tiež dôležité v súvisiacich oblastiach, ako je elektronické balenie a výroba fotovoltaických článkov. Okrem elektroniky sa tieto čerpadlá používajú v strojoch na výrobu gumy a plastov na spracovanie vysokokvalitných-polovodičových-materiálov. Pri balení potravín pomáhajú pri vývoji špecializovaných obalov pre citlivé elektronické súčiastky. V rámci vyhradených vákuových náterových systémov,produktusú nevyhnutné na vykonávanie procesov povrchovej úpravy-polovodičovej kvality, ktoré si vyžadujú maximálnu čistotu a spoľahlivosť. Keď úspech vášho procesu závisí od nepoškvrneného a neochvejného vákua,Polovodičové vákuové čerpadlású definitívnym a dôveryhodným riešením.
|
Základné parametre |
typeNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Rýchlosť čerpania, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Konečný tlak, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Rýchlosť otáčania, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Hlučnosť Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maximálna spotreba vody, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Priemer vtoku, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Priemer výfukového otvoru, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Výkon motora, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Hmotnosť hlavy čerpadla, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Populárne Tagy: polovodičové vákuové čerpadlá, Čína výrobcovia polovodičových vákuových čerpadiel, dodávatelia, továreň
