Produkty
Polovodičové vákuové čerpadlá

Polovodičové vákuové čerpadlá

Polovodičové vákuové čerpadlá, ktoré sú srdcom výroby v čistých priestoroch, sú precízne-skonštruované tak, aby spĺňali mimoriadne prísne požiadavky na výrobu mikroelektroniky. Tieto čerpadlá sú navrhnuté tak, aby poskytovali dokonale čisté, stabilné a vákuové prostredie bez-vibrácií, čo je absolútne nevyhnutné pre procesy, kde aj mikroskopická kontaminácia môže viesť ku katastrofálnej poruche produktu. produkt univerzálne využíva konštrukcie bez-bezolejové{5}}odolné voči korózii, pričom často využíva špeciálne materiály, ktoré odolajú agresívnym procesným plynom.

Popis produktov

 

Srdce výroby v čistých priestoroch,Polovodičové vákuové čerpadlású precízne{0}}skonštruované tak, aby spĺňali mimoriadne prísne požiadavky na výrobu mikroelektroniky. Tieto čerpadlá sú navrhnuté tak, aby poskytovali dokonale čisté, stabilné a vákuové prostredie bez-vibrácií, čo je absolútne nevyhnutné pre procesy, kde aj mikroskopická kontaminácia môže viesť ku katastrofálnej poruche produktu.produktuuniverzálne používajú konštrukcie-bez oleja a korózii-, často využívajúce špecializované materiály, ktoré odolajú agresívnym procesným plynom. Dosahujú potrebné vysoké úrovne vákua, zvyčajne až do 0,001 Pascalu, s nastaviteľnými prietokmi a sú navrhnuté tak, aby vykazovali extrémne nízke vibračné profily, aby sa zabránilo poškodeniu jemných nanoštruktúr.

 

Ich filozofia modulárneho dizajnu umožňuje priamu integráciu do komplexných sád nástrojov a uľahčuje údržbu, čo je rozhodujúce pre minimalizáciu nákladných prestojov nástrojov. Primárna aplikáciaPolovodičové vákuové čerpadláje, ako už názov napovedá, v polovodičovom priemysle, kde sa používajú prakticky v každom kroku výroby čipov, od leptania a nanášania až po implantáciu iónov a litografiu. Sú tiež dôležité v súvisiacich oblastiach, ako je elektronické balenie a výroba fotovoltaických článkov. Okrem elektroniky sa tieto čerpadlá používajú v strojoch na výrobu gumy a plastov na spracovanie vysokokvalitných-polovodičových-materiálov. Pri balení potravín pomáhajú pri vývoji špecializovaných obalov pre citlivé elektronické súčiastky. V rámci vyhradených vákuových náterových systémov,produktusú nevyhnutné na vykonávanie procesov povrchovej úpravy-polovodičovej kvality, ktoré si vyžadujú maximálnu čistotu a spoľahlivosť. Keď úspech vášho procesu závisí od nepoškvrneného a neochvejného vákua,Polovodičové vákuové čerpadlású definitívnym a dôveryhodným riešením.

 

Základné parametre

typeNumber

DLT.LG180

DLT.LG360

DLT.LG630

DLT.LG800

DLT.LG1100

Rýchlosť čerpania, m3/h

143

354

625

780

994

Konečný tlak, Pa

2

2

1

1

1

Rýchlosť otáčania, r/min

2900

2900

2900

2900

2900

Hlučnosť Lp, dB(A)

82

83

83

84

85

Maximálna spotreba vody, L/min

8

15

25

35

45

Priemer vtoku, mm

50

50

65

100

100

Priemer výfukového otvoru, mm

40

40

50

80

80

Výkon motora, kW

4

7.5

15

18.5

22

Hmotnosť hlavy čerpadla, kg

245

350

550

630

780

Populárne Tagy: polovodičové vákuové čerpadlá, Čína výrobcovia polovodičových vákuových čerpadiel, dodávatelia, továreň

Zaslať požiadavku